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평택이혼전문변호사 삼성전자, ASML 차세대 극자외선 장비 적용 D램 첫 양산 추진

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작성자 행복이이
댓글 0건 조회 5회 작성일 26-09-11 10:59

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평택이혼전문변호사 삼성전자가 네덜란드 반도체 노광설비 기업 ASML과 협력해 2028년 첨단 D램 생산에 차세대 노광 장비인 ‘고개구율(High-NA)’ 극자외선(EUV) 노광장비를 적용할 계획이다. 삼성전자가 고개구율 EUV를 실제 D램 양산에 적용하는 것은 처음이다. 또 삼성전자는 ASML이 주도하는 ‘대형 마스크 컨소시엄’에 참여해 차세대 12인치 포토 마스크를 공동 개발한다. 양사가 마스크 표준과 양산 인프라를 함께 준비한다는 취지다.
삼성전자는 삼성전자는 ASML과의 협력 확대를 통해 2028년까지 첨단 D램 제조에 고개구율 EUV 도입을 추진할 계획이라고 8일 밝혔다. 차세대 D램의 미세화 경쟁에 선제적으로 대응하고, 고개구율 EUV의 제조 공정 안정성을 조기 검증해 새로운 노광 기술을 양산 체계에 빠르게 안착시키기 위해서다.
고개구율 EUV 장비는 최선단 로직 공정과 첨단 메모리 제조에 필수적인 장비로 꼽힌다. 현재 0.33 수준인 EUV 개구수를 0.55까지 높여 더 미세한 회로를 구현할 수 있는 차세대 노광기술이다. 해상도가 높아지면서 기존 EUV에서 여러 차례 노광해야 하는 일부 공정을 줄일 수 있어 미세화와 효율화에도 유리하다.
삼성전자는 2025년 3월에 고개구율 EUV 설비를 국내 최초로 반입하는 등 차세대 노광 설비 도입과 관련해 ASML과 긴밀하게 협력 중이다.
또 삼성전자는 ASML이 주도하는 ‘대형 마스크 컨소시엄’에 참여해 차세대 12인치 포토마스크 공동 개발에 나선다. 컨소시엄은 현재 반도체 노광 설비에 사용되는 6인치 포토마스크를 12인치로 전환하기 위한 협의체로, 공동 연구·표준 개발 등의 협력을 진행할 예정이다.
포토마스크는 미세 회로 패턴을 정교하게 새긴 정밀 ‘마스크(틀)’로 노광 설비 내에서 빛을 통해 웨이퍼에 설계된 패턴을 새기는 필수 도구다. 회로를 새기는 정밀도가 반도체 성능과 수율을 결정짓는다.
지난 수십년간 반도체 노광 공정에는 6인치 마스크가 사용돼 왔으나 고개구율 EUV 도입과 함께 12인치 마스크로 전환할 경우 한 번에 넓은 면적의 회로를 웨이퍼에 새길 수 있어 팹 생산성을 높이고 칩 제조 비용을 낮출 수 있다.
전영현 삼성전자 대표이사 부회장은 “인공지능(AI) 시대의 도래는 반도체 산업 패러다임을 바꾸고 있으며 밸류체인 전반에서 기술 혁신의 중요성을 더욱 높이고 있다”며 “삼성전자는 혁신 기술과 강한 파트너십을 바탕으로 파운드리와 메모리를 포함한 첨단 반도체 제조 리더십을 이어가고 ASML과의 협력을 한층 강화함으로써 ‘Next AI’를 위한 기술 기반을 마련해 나갈 것”이라고 밝혔다.
크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)는 “삼성전자는 오랜 기간 ASML의 가장 중요한 혁신 파트너 중 하나로 그동안 현대 반도체 제조의 기반이 되는 기술을 함께 발전시켜 왔다”며 “AI가 이끄는 새로운 시대를 맞이하여 삼성전자와 함께 차세대 반도체 제조를 위한 혁신을 이끌어 가기를 기대한다”고 말했다.
아이슬란드가 8일(현지시간) 자국 영토를 미국의 일부처럼 표현한 도널드 트럼프 미국 대통령의 소셜미디어(SNS) 게시물에 항의해 미국 대사를 초치했다고 AFP통신이 보도했다.
아이슬란드 외무부는 성명에서 “소르게르뒤르 카트린 군나르스도티르 외무장관이 전날 미국 대사를 초치해 해당 이미지가 완전히 부적절하다는 메시지를 명확히 전달했다”고 밝혔다.
아이슬란드 외무부가 지난달 공식 부임한 빌 롱 주아이슬란드 미국 대사를 이날 초치한 것은 트럼프 대통령이 전날 아이슬란드를 포함한 북대서양 인근 국가를 마치 미국 땅처럼 표현한 지도를 소셜미디어 트루스소셜에 올린 데 따른 항의 조치다.
앞서 트럼프 대통령이 게시한 지도 이미지에는 아이슬란드와 캐나다, 덴마크 자치령인 그린란드, 멕시코 영토와 카리브해 지역 등이 모두 성조기로 뒤덮여 있다. 지도 위에는 ‘미합중국’(United States of America)이라는 문구가 적혀 있다. 캐나다와 그린란드, 아이슬란드 등의 지명은 모두 적혀있지 않았다.
트럼프 대통령은 미국이 덴마크의 자치령인 그린란드를 인수해야 한다는 주장을 되풀이하며 유럽과 갈등을 불러일으킨 바 있다. 트럼프 대통령은 지난 1월 북극권 전략 요충지이자 희토류 등 광물 자원이 풍부한 그린란드가 미국 안보에 필수적이라며, 필요하다면 무력 사용도 배제하지 않겠다는 입장을 밝혔다. 이후 유럽의 강한 반발로 대서양 동맹 내 긴장이 고조되자 트럼프 대통령은 “외교적으로 해결하겠다”며 한발 물러섰지만 지난 7월에도 덴마크 자치령 그린란드를 미국의 통제 아래 둬야 한다는 주장을 다시 꺼내 든 바 있다.
우르줄라 폰데어라이엔 유럽연합(EU) 집행위원장은 이날 그린란드 수도 누크에서 옌스-프레데리크 닐센 그린란드 총리, 메테 프레데릭센 덴마크 총리와 만나 덴마크 자치령 그린란드에 대한 2억유로(약 3118억원) 규모의 추가 지원 계획을 발표했다. 폰데어라이엔 위원장은 기자회견에서 “그린란드의 미래를 결정하는 주체는 다른 누구도 아닌 그린란드와 덴마크”라고 강조했다.
프레데릭센 덴마크 총리는 “그린란드 정부와 그린란드 국민은 미국인이 되기를 원하지 않는다고 반복해서 말해왔다”며 “미국이든, 전 세계 어디든, 그에 대해 의심하는 사람이 아무도 없기를 바란다”고 말했다.

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