분당성추행변호사 하이닉스, ‘최첨단 EUV 장비’로 D램 생산 > 공지사항

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분당성추행변호사 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다.
SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다.
SK하이닉스는 “장비 도입으로 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 했다.
한편 인공지능(AI) 연산을 지원하는 고부가가치인 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%였다.
이날 개최된 장비 도입 기념행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, SK하이닉스 차선용 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 밝혔다.
김정은 북한 국무위원장이 2일 전용열차로 중국 베이징에 도착하면서 6년8개월 만의 방중 일정에 돌입했다. 김 위원장의 이번 방중은 기존의 북·중 양자 회담과 달리 다자외교 무대에 데뷔하는 자리인 만큼 북한이 얻어낼 성과 역시 한층 복합적일 것으로 전망된다.
전날 평양에서 출발한 김 위원장 전용열차 ‘태양호’는 꼬박 하루를 달린 끝에 이날 오후 4시쯤 베이징역에 도착했다. 약 10분 뒤 베이징역 밖에서는 김 위원장이 탄 것으로 추정되는 차량과 의전·경호 차량 등 승용차 20여대가 창안제 방향으로 이동하는 장면이 목격됐다. 여러 대의 갈색 소형버스와 구급차 등이 차량 행렬을 호위하듯 뒤따랐다. 이번 방중에는 딸 주애가 동행했고 최선희 외무상, 김성남 노동당 국제부장, 현송월 당 부부장 등이 수행하고 있다.
이번 방중의 기간과 세부 일정은 아직 공개되지 않았다. 타스통신에 따르면 드미트리 페스코프 러시아 크렘린궁 대변인은 이날 북·러 정상회담 여부가 결정됐느냐는 질문에 “김 위원장은 오늘 저녁 베이징에 도착한다”며 “도착 후 일정을 고려해 (정상회담) 가능성을 대표단과 직접 논의할 수 있을 것”이라고 답했다. 중국 외교부도 이날 정례 브리핑에서 북·중·러 정상회담 가능성을 묻는 말에 “(전승절 기념행사 관련 정보를) 적시에 발표할 것”이라면서도“(3국 정상회담과 관련해) 제공할 수 있는 정보가 없다”고 밝혔다.
현재 확정된 일정은 3일 오전 열리는 전승절 열병식이다. 열병식 전후로 시진핑 중국 국가주석을 만날 것으로 관측된다.
이번 방중의 최우선 과제로는 코로나19 대유행과 러시아와의 밀착으로 다소 소원해 보였던 북·중관계를 복원하는 것이 꼽힌다. 러·우크라이나 전쟁을 계기로 러시아와 군사동맹 관계를 강화한 김 위원장이 교역과 외교의 핵심 파트너인 중국과도 협력을 강화한다면 그 자체로 큰 성과가 될 수 있다. 실제로 북한의 대외무역은 90% 이상을 중국에 의존하고 있다.
북한은 과거 중국과 러시아를 오가며 자국 이익을 극대화하는 이른바 ‘시계추 외교’를 펼쳐왔지만 이번 방중은 북·중·러 3각 연대를 공고히 하려는 행보로 해석된다. 이번 열병식 참석을 계기로 김 위원장은 중·러 정상은 물론 다른 참가국 정상들과도 교류할 것으로 보인다.
전날 중국 톈진에서 폐막한 상하이협력기구(SCO) 정상회의에 참석했던 각국 정상들은 이날 고속열차를 타고 베이징으로 이동했다. 블라디미르 푸틴 러시아 대통령을 비롯해 중앙아시아와 남아시아 주요 국가 정상들이 대거 합류했다. 이들은 3일 열리는 대규모 전승절 열병식을 함께 참관할 예정이다. 주요 정상들의 동시 참석은 군사·안보 협력 강화는 물론 대외적으로 결속을 과시하는 의미가 있다.
이날 베이징 시내 경비는 한층 더 강화됐다. 김 위원장 전용열차가 도착한 베이징역과 주중 북한대사관, 국빈관인 댜오위타이 일대는 교통이 통제되고 수m 간격으로 경찰이 배치됐다. 이날 오전 북한대사관 주변에는 철제 울타리가 설치돼 통행이 금지됐고 제복 경찰이 5m 간격으로 배치됐다. 사복 차림의 경찰들도 거리를 지나며 휴대전화를 꺼내는 시민들에게 신분증을 요구하고 촬영하기도 했다. 대사관 맞은편 르탄공원 출입구는 폐쇄됐다.
오후 들어 경계는 더욱 강화됐다. 오후 2시쯤 대사관 인근 식당들은 점심 영업만 마치고 문을 닫았으며 행인 통행이 통제됐다. 도로 통제 이유를 묻자 경찰은 “오늘과 내일 이곳에서 일반인들이 다니기 부적합한 행사가 열린다”고만 답했다.
같은 시각 베이징역 주변에서도 시민들을 상대로 신분증 검사가 시작됐다. 해외 귀빈들이 묵는 댜오위타이에는 오후 2시 전후 검은색 의전차량들이 집결했고 경찰 경호인력도 눈에 띄게 늘어났다. 오후 3시에는 댜오위타이 동문에 바리케이드가 설치됐으며 베이징역 역시 시민들 통행이 전면 금지되고 경찰이 수m 간격으로 배치됐다.

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