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‘반도체 공정 핵심’ EUV 장비, 국내 도입 최대 25일 빨라진다

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작성자 행복이이
댓글 0건 조회 9회 작성일 26-06-04 20:04

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극자외선(EUV)을 이용해 웨이퍼에 초미세 회로를 그리는 EUV 노광 장비는 첨단 반도체 제조의 핵심 장비로 불린다. 네덜란드 기업 ASML에서 독점 생산하는 장비로, EUV 노광 장비를 공급받기 위해 수많은 반도체 기업들이 대기하기도 해 ASML을 ‘슈퍼 을’ 기업으로 부르기도 한다. 정부가 EUV 노광 장비 국내 도입 절차를 대폭 간소화하기로 했다. 도입 때 검사 등에 걸리는 기간이 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축될 전망이다.
산업통상부는 2일 열린 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조 장비에 대해 고압가스 일반 제조시설이 아닌 ‘특정설비’ 기준을 적용하도록 하는 것을 주요 내용으로 하는‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부 개정안이 의결됐다고 밝혔다.
그동안 반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관·장치가 포함돼 현행 법령상 ‘고압가스 제조설비’로 분류됐다. 이에 따라 EUV 장비를 설치할 때마다 기술 검토·검사를 받아야 했고, 이 과정에서 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 발생한다는 현장의 불만이 적지 않았다.
산업부는 제도 개선을 위해 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 의견을 수렴하고, 글로벌 안전 기준과 국내 안전 관리 체계 간 정합성을 검토해 EUV 장비를 기존 ‘고압가스 제조시설’에서 ‘특정설비’로 관리하는 개정안을 마련했다.
이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축되고, 해외 공인검사기관 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 산업부는 예상했다.
이날 산업부는 고압가스 안전관리법 시행규칙 개정도 함께 추진했다. 물과 세탁 세제 대신 이산화탄소를 사용해 세탁하는 친환경 ‘액화 이산화탄소 세정설비’가 국내 최초 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설하는 등 규제를 합리화했다. 또 ‘위험성이 낮은 고압가스시설’의 안전관리자 선임기준을 현실에 맞게 정비하는 내용도 포함했다.
이날 국무회의를 통과한 개정안은 다음주 공포 후 즉시 시행된다. 김정관 산업부 장관은 “이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례”라며 “앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극적으로 지원해 나가겠다”고 밝혔다.
‘정원오 예측 1위’ 소식에 ‘박수’정청래, 시종일관 무표정 유지한병도 “이재명 정부에 힘 실어”
6·3 지방선거와 국회의원 재보궐선거 방송 3사 출구조사 결과가 나온 3일 오후 6시 더불어민주당 개표상황실에선 박수소리와 함께 환호성이 쏟아졌다. 정청래 대표는 내내 침착한 표정을 유지했다.
정 대표와 한병도 원내대표, 조승래 사무총장 등 민주당 지도부는 이날 국회 의원회관에 마련된 개표상황실에서 방송 3사 출구조사 결과를 지켜봤다. 16개 광역단체장 선거에서 민주당 11곳, 국민의힘 1곳 ‘우세’, 4곳 ‘경합’이라는 예측이 뜨자 상황실에서는 환호가 터져나왔다.
정원오 서울시장 후보가 오세훈 국민의힘 후보를 앞지르고 예측 1위에 올랐다는 출구조사 결과에 박수소리가 이어졌다. 이원택 전북지사 후보가 김관영 무소속 후보를 앞질렀다는 소식이 나오자 다시 한번 큰 환호가 일었다.
김부겸 대구시장 후보가 추경호 국민의힘 후보와 1%포인트 안팎으로 초접전을 벌이고 있다는 소식에는 환호와 탄식이 동시에 나왔다. 국회의원 재보궐선거 중 부산 북갑에서 하정우 후보가 한동훈 국민의힘 후보와 경합 중 앞서고 있다는 화면이 떴을 땐 굳은 표정이던 의원들도 미소를 지었다. 이연희 전략본부장은 두 손으로 박수를 쳤다.
정 대표는 시종일관 무표정을 유지했다. 출구조사 발표 전부터 후보와 당직자들이 큰 소리로 카운트다운을 시작했지만 정 대표는 입술을 다문 채 방송 화면을 응시했다. 발표가 이어진 10여분간 허리를 꼿꼿이 세우고 앉아 양손 깍지를 꼈다 풀기를 반복했다. 김부겸 후보의 초접전 소식이 전해졌을 때 정 대표는 잠깐 침을 삼켰고, 한 원내대표는 눈썹을 씰룩였다.
앞서 정 대표 등 민주당 지도부는 오후 5시50분쯤 상황실에 도착했다. 정 대표와 한 원내대표는 정장에 파란 넥타이 차림으로 상황실에 들어와 맨 앞줄에 앉았다. 조 사무총장과 이시종 공동상임선대위원장 등은 당명이 적힌 파란 반소매 티셔츠를 입었다. 상황실 연단에는 민주당이 선거운동 기간 내내 강조한 구호인 “대한민국 국가 정상화 일 잘하는 지방정부”라고 적힌 파란색 현수막이 크게 걸렸다.
경기 평택을 재선거에서 치열한 3파전이 예상된다는 결과에는 아쉬워했다. 김용남 민주당 후보보다 유의동 국민의힘 후보와 조국 조국혁신당 후보가 앞서자 아쉬움 섞인 탄식이 들렸다. 정 대표는 출구조사 결과를 지켜본 뒤 오후 6시11분쯤 조 사무총장과 함께 상황실을 떠났다.
한 원내대표는 이날 출구조사 발표 직후 언론 인터뷰에서 “경합 4곳은 결과를 예단하기 쉽지 않다”면서도 “전국적으로 이재명 정부에 힘을 실어주고 일하는 지방정부를 만들어 성과를 만들 수 있지 않냐는 기대가 반영된 것”이라고 말했다.

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